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商品介紹
製程設備排放監測
商品明細
製程毒氣偵測器/有毒氣體偵測器
廠牌:Honeywell Analytics
型號:Midas
特點介紹:
· 智慧型探頭卡匣附電子校正證書。
· LED狀態指示燈和多色背光液晶顯示幕。
· 專利Reflex探頭自檢技術。
· 可偵測超過35種氣體。
商品詳細介紹
Product Introduction
MIDAS 製程毒氣偵測器/有毒氣體偵測器
MIDAS固定式氣體偵測器
可偵測半導體、光電及其他行業制程中常用的多種氣體,為用戶提供低成本的氣體監測方案,特點為特長的探頭校正週期,通訊介面與專利探頭性能與取樣幫浦流量診斷技術。
其熱插拔式智慧型探頭卡匣於出廠時已預先校正完成,更換探頭不需要任何工具,極為簡便,也可避免人為錯誤,誤裝失效的探頭。LED燈搭配直覺圖像式互動畫面確保即時氣體讀值或警報警示,且搭配密碼保護測試和校正組態設定。
特點介紹:
· 智慧型探頭卡匣附電子校正證書。
· LED狀態指示燈和多色背光液晶顯示幕。
· 專利Reflex探頭自檢技術。
· 可偵測超過35種氣體。
可偵測氣體種類(可選氣體):
氨氣(NH3)
砷化氫(AsH3)
三氯化硼(BCl3)
三氟化硼(BF3)
三氟化硼-低濃度(BF3)
溴(Br2)
二氧化碳(CO2)
一氧化碳(CO)
氯氣(CI2)
二氧化氯(CIO2)
硼乙烷(B2H6
二氯甲矽烷(H2Cl2Si)
二氟甲烷(CH2F2)
矽乙烷(Si2H6)
氟氣(F2)
鍺烷(GeH4)
六氟丁二烯(C4F6)
氫氣-%爆炸下限 LEL(H2)
氫氣(H2)
溴化氫(HBr)
氯化氫(HCI)
氰化氫(HCN)
氟化氫(HF)
氟化氫-低濃度(HF)
硫化氫(H2S)
甲烷-%爆炸下限 LEL(CH4)
氟甲烷(CH3F)
二氧化氮(NO2)
一氧化氮(NO)
三氟化氮(NF3)
三氟環戊烯(C5F8)
氧氣(O2)
臭氧(O3)
臭氧-低濃度(O3)
磷化氫(PH3)
矽烷(SiH4)
矽烷-低濃度(SiH4)
二氧化硫(SO2)
笑氣(N2O)
正矽酸乙酯(TEOS)
六氟化鎢(WF6)
六氟化鎢-低濃度(WF6)
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